Эллипсометры и рефлектометры Ellitop Scientific https://atomstroy-ng.ru/avtomatizacyaochiski

Печи серии RTP предназначены для проведения процессов в вакууме и в среде инертного газа https://atomstroy-ng.ru/dopoborudovanie

Установка вакуумного напыления https://atomstroy-ng.ru/avtomatichultrazvuklinii

МИНАТЕХ произвел поставку и запуск системы плазменной обработки COVANCE от FEMTO SCIENCE (Р https://atomstroy-ng.ru/vannyultrazvukobrabotki
Корея)
Оборудование для производства микроэлектроники в НПО ДиОД https://atomstroy-ng.ru/ustanovkanikelirovaniya

Безмасковая литография SVG Tech Group (Китай) Безмасковая литография Контактная фотолитография Нанесение, проявление и сушка фоторезиста Плазменное травление (RIE, RIE-ICP, DRIE) Плазменное осаждение (PECVD, ICPECVD) Атомно-слоевое осаждение - ALD Плазменная очистка Вакуумное напыление (PVD) Установки LPCVD осаждения графена и CNT Осаждение SprayCVD, MOCVD, LPCVD Быстрые термические процессы - RTP Диффузионные печи Шлифовка, полировка и утонение пластин G&N Планаризация и ХМП Очистка пластин и фотошаблонов (жидкостная обработка и WET processing) Дисковая резка пластин (Dicing SAW) Монтаж на пленку, Ламинаторы пластин, УФ отверждение, Растяжка Системы для автоматической загрузки/выгрузки пластин https://atomstroy-ng.ru/avtogalvaniclinii